静電チャック（Electric Static chuck)

半導体製造装置は、オランダと日本が主流であるが、その中でもウェハーを固定するために静電チャックは重要である。絶縁体（主にファインセラミック）の中に電極が内臓され、この電極に電圧を掛けることでウェーハーを吸着して固定する仕組みである。日本では、TOTOをはじめ、新光電機、住友大阪セメント、日本ガイシ、京セラ等が作っている。中国等にしたら喉が出るほどほしい技術らしい。TOTOのHPを見ると、その仕組みが示されている。